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Unsere Ausstattungsvarianten
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- 4, 6, 8, 10, 12 Verdampfungstiegel
- Rückseiten Kalottenheizung
- Quarz-Frontseitenheizung 2 kW, 4 kW, 6 kW, 8 kW
- CARRERA 5 kW, 6 kW, 10 kW, 12 kW Hochspannung
- Verschiedene Pumpsysteme (trocken, Turbo)
- E-Strahl-Quelle
- EV1-40, EV1-100, EV M6, EV M8, EV M9, EV M10
- Kalottenträger
- Kalottensegmente
- Glimmentladung
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- Ionenquelle Typ I & II
- Knudsen-Planetenantrieb
- Universell einsetzbarer Planetenantrieb
- Optisches Überwachungssystem (auf Anfrage)
- Netzteil
- Reaktivgaseinlass mit Druck- oder Durchflussregelung
- HF-Plasmaquelle (auf Anfrage)
- Einnapftiegel in verschiedenen Größen
- Sputterquellen (auf Anfrage)
- Thermische Verdampfer