Taurion 800/1100

Ist eine vollautomatische, HF-Plasma-unterstützte Verdampfungsanlage mit
einem Kalottendurchmesser von 800/1100 mm für RFPE-PVD-Prozesse. Das Hochvakuum-Verdampfungssystem umfasst eine filamentfreie und wartungsarme HFPlasmaquelle mit 122 mm und 265 mm Austrittsdurchmesser.

Das Basissystem TAURION 800/1100 besteht aus einer wasserbeheizten/gekühlten Kammer und Tür inklusive Drehantrieb, Wasserbatterie auf Rahmen und einem Powerrack. Die vollautomatische PCSteuerung sorgt für eine bedienerfreundliche Handhabung. Das System kann entweder mit Kryo- oder Öldiffusions-Hochvakuumpumpe und einem Standard- oder trockenen Vorvakuumpumpensatz einschließlich Vakuumdrucküberwachung ausgestattet werden.